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一氧化硅(SiO) 作为中短波红外域常用的低折射率材料, 在光学薄膜中具有广泛的应用, 常用于薄膜电容器的介质或作为保护膜和绝缘膜, 在混合集成电路, 液晶显示器及光学元件中得到广泛应用.
一氧化硅(SiO) 是一种宽带隙半导体光学材料, 广泛应于真空镀膜, D???T核反应绝对测量囚禁放射性氘的气体靶窗。
一氧化硅是激光增透膜和反射膜;无线电元件,玻璃,塑料,纸类等为基体的保护膜及装饰膜的原料。也可以涂在光学仪器用的金属反射镜上作保护膜即金属保护膜
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